Merilni razpon po osi X: 0–200 mm
Napaka indikacije osi X: ±(0,6 + 1,5L/100) µm
Merilni razpon po osi Z0: ±25 mm
Ločljivost osi Z0: 0,01 µm
Napaka indikacije osi Z0: ±(0,6 + |4H|/100) µm
Hitrost skeniranja: nastavljiva od 0,05 do 5 mm/s
Proizvajalec: Chotest Technology Inc.